電子機械
プリント基板用露光装置 光 シリーズ
縦型両面露光装置 光FE205C
縦型構造を特長としており、露光精度、露光品質を徹底的に追求した自動露光装置です。
特長｜仕様｜寸法図 |
| 特長 |
| ■高信頼性 | ||||||||||
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| ■高精度位置決め | ||||||||||
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| ■高精度露光 | ||||||||||
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特長｜仕様｜寸法図 |
| 仕様 |
| 露光光源 | UV光源 | 平行光 |
| ランプ | 5ｋW ショートアークランプ×1灯 | |
| 照度分布 | 90％以上（610mm×510mmの範囲） | |
| 初期照度 | 28mW／cm2以上 | |
| 基板サイズ | 適応基板サイズ | 330×250～610mm×535mm |
| 板厚 | 0.06mm ～ 3.0mm | |
| 位置合わせ | プリアライメント | 非接触 光学式検出方式 |
| 露光方式 | 楔形真空密着方式 | |
| マーク認識方式 | 新画像処理方式による自動位置合わせ | |
| 画像処理方式 | エッジによる円認識方式 | |
| アライメント方式 | 新4点按分方式 | |
| 露光位置精度 | ±10μm以下（按分方式） | |
| 機台寸法 | 3300(W)×2525(D)×2180(H)mm |
特長｜仕様｜寸法図 |
| 寸法図 |
| ＊上記の仕様・寸法等は改良の為予告なく変更することがあります。 |
