ソルダーレジスト露光装置 光ASRE110S

  • 露光精度はもちろんの事、ソルダーレジストのタック性の問題にも配慮した高信頼性を実現した装置です。

特長

高精度・高信頼性の実現

  • パターン用自動露光装置の高精度露光技術の採用
  • レジスト色に左右されない、高精度位置合せの実現
  • 外段取り式により高い機械稼働率
  • マスクは手元で反転できる為、傷のチェックや清掃が楽
  • 前面スイング式カバーにより、メンテナンス性が抜群
  • 露光ステージの冷却とマスク面の冷却により、基板のタックを防止

仕様

露光光源 UV光源 拡散光
ランプ メタルハライド 2灯
照度分布 80%以上
初期照度 50mW/cm2 以上
基板サイズ 適応基板サイズ 330×250~610mm×510mm
板厚 0.06~ 3.2mm
機台寸法   3890(W)×1980(D)×2265(H)mm

寸法図

*上記の仕様・寸法等は改良の為、予告なく変更することがあります。


製品情報