縦型両面露光装置 光FE205C

  • 縦型構造を特長としており、露光精度、露光品質を徹底的に追求した自動露光装置です。

特長

高信頼性

  • 完全数値制御システム
  • 省配線システム
  • モニタリングシステム
  • リモートメンテナンスシステム
  • 新型搬送パッド装置

高精度位置決め

  • 新画像処理システム
  • 新アライメントアルゴリズム
  • 高剛性機台

高精度露光

  • 楔型真空接合方式

仕様

露光光源 UV光源 平行光
ランプ 5kW ショートアークランプ×1灯
照度分布 90%以上(610mm×510mmの範囲) 
初期照度 28mW/cm2以上
基板サイズ 適応基板サイズ 330×250~610mm×535mm
板厚 0.06mm ~ 3.0mm
位置合わせ プリアライメント 非接触 光学式検出方式
露光方式 楔形真空密着方式
マーク認識方式 新画像処理方式による自動位置合わせ
画像処理方式 エッジによる円認識方式
アライメント方式 新4点按分方式
露光位置精度 ±10µm以下(按分方式)
機台寸法   3300(W)×2525(D)×2180(H)mm

寸法図

*上記の仕様・寸法等は改良の為、予告なく変更することがあります。


製品情報